ST-21方阻测试仪,四探针测试仪

ST-21方阻测试仪
ST-21方阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。

ST-21方阻测试仪特点：
1，采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；
2，以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；
3，采用单个电池供电，带电池欠压指示；
4，体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
5，特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
6，探头带抗静电模块
ST-21方阻测试仪技术参数
测量范围
 按方块电阻量值大小分为二个量程档：
  1.方块电阻 1.00～199.99Ω/□；
  2.方块电阻 10.0～1999.9Ω/□；
 最小分辨率：0.01Ω/□
恒流源
 测量过程误差：≤±0.8%
模数转换器
 量程：0～199.99mv；
 分辨率：10μv；
 方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；
测量不确定度
 在整个量程范围内，测量不确定度≤5%
四探针探头规格
 间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ

电源
 9V叠层电池1节
ST-21方阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：

型号 (Model)	曲率半径 (Radius)	压力 (loads)	探针间距 (spacing)	探针排列 (Arrangement)
HP-501	0.5mm	100g	3.8mm	直线
HP-502	0.75mm	100g	3.8mm	直线
HP-503	0.1mm	150g	1mm	直线
HP-504	0.5mm	100g	1.59mm	直线

ST-21方阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：
SP-601型方形四探针探头是一种专门测量半导体薄层电阻(面电阻)的方块电阻测试仪配用的方型四探针测试探头，专用于测量小样品的四探针探头，可用于一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻

1，特制之手握式探笔
2，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜不被损伤
3，探头带抗静电模块有效防止方块电阻测试仪采集数据集成模块烧坏
4，探头使用寿命长
5，探针间距：1.59mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ

型号 (Model)	曲率半径 (Radius)	压力 (loads)	探针间距 (spacing)	探针排列 (Arrangement)
SP-601	0.5mm	100g	1.59mm	方形