序号 | 项目 | 内容 |
1 |
测量方向 (射线照射方向) |
从上往下,即使样品表面有一定的幅度或不平整等情况也可轻易对焦 |
2 | 外形尺寸 | 宽x深x高[mm]: 约407 x 770 x 400 mm(不含电脑等) |
3 | 井深式样品台 |
“井深式”样品仓设计,可以测量很小到很大的广泛尺寸的样品/零件 ,可放置样品最大高度为150mm 。样品台支架可放置在“深井”中的4个位置的卡槽上,使得不同样品都可以方便地测量。 样品台支架放置在标准位置(最上层)时,就是“开槽式样品仓”,可以测量大型平板样品,如尺寸大于仪器宽度的印制线路板或小型的连接器,接插件样品。所有样品可以很方便地放置并定位到待测点。 Z轴自动控制(Z向行程:43mm) 样品仓内部尺寸:236 x 430 x 160mm (宽x深x高) |
4 | X射线源 |
超薄Be窗微聚焦W阳极靶射线管 产生高通量X射线,经过准直器,得到细束X射线。 这个“聚焦X射线束”可对小样品或者样品上小测试点进行高精度的分析。 |
5 | 高压发生器 | 50 kV, 1.0 mA (50 W) 高压发生器,高压多档可调 |
6 | 二次滤光片 | 钴二次滤光片,用于准确校正铜镍之间的相互干扰,合适镍层的精确测量。 |
7 | 准直器 | 0.3 mm Ø圆形准直器,最小测量点是直径约0.5mm的圆形,适合大多数类型的样品。 |
8 |
X射线接收器 (探测器) |
高分辨率、大面积、封氙气的正比例计数器(PC) 结合二次滤波器来最大化灵敏度,以获得最佳元素检测 |
9 | 数字脉冲处理器 |
4096 通道(CH)数字多道处理器 含死时间校正和脉冲累积消除功能的自动信号处理 |
10 | 视屏系统 | 彩色CCD,30倍光学放大, 200%、300%和400%数字放大。样品分析区域在用户界面显示,清晰、易用。 |
11 | Z轴自动对焦系统 |
镭射用于Z轴自动精确定位X射线光管/检测器与被测样品到最佳测试距离。 “一键操作”将Z轴测试头移动到最佳位置,同时将样品图像定焦(显示在屏幕上)。 自动而简单的操作提高仪器测试的再现性,并将人为测量误差降到最低。 注:最佳测试距离为12.7mm,由X射线测试头自动调节高度(Z轴)。 |
12 | 电源 | 85~130 或 215~265 伏特,频率范围47Hz到63Hz |
13 | 能耗 | 小于1000W |
14 | 工作温度 | 10°C至40°C |
15 | 空气相对湿度 | 相对湿度≤ 98 %, 无冷凝水 |
16 | 计算机 |
CPU:Intel Core 2 Duo E7500 2.93GHz 硬盘: 500Gb,内存:2Gb,DVDRW 注:由于计算机系统更新快速,实际配置等同或优于上述规格。 |
17 | 操作系统 | MicrosoftTM Windows |
序号 | 项目 | 内容 |
18 |
可测量的镀层 元素范围 |
元素周期表中22号钛元素到92号铀元素 |
19 | 可测量的镀层层数 | 最多可同时测量4层(不含基材) |
20 | 可测镀层厚度范围 | 通常约0.03微米到30微米,根据不同镀层元素和镀层结构不同而不同。 |
21 | 典型准确性 |
第一层(最表面层):±0.025微米或±5%以较大者计,或更好; 第二次(次表面层):±0.050微米或±10%以较大者计,或更好; 第三层 : ±0.075微米或±15%以较大者计,或更好; (按操作规程,采用0.3mm准直器,对随仪器配置的标准片进行连续10次测量,测量平均值与标准片标称值之间的差异作为准确性数据) |