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Kanomax 超小型粒子计数器3950-00

发布时间:2023-06-17 22:33:57 作者:深圳市君达时代仪器有限公司 阅读: 2301 次
Kanomax 超小型粒子计数器3950-00颠覆性的技术革新,致轻、致小,完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中,2.83L/min,同时测试0.1、0.3μm微小粒子,可使用附带软件在PC上显示测试数据

Kanomax 超小型粒子计数器3950-00

颠覆性的技术革新,致轻、致小,完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
2.83L/min,同时测试0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色触摸显示屏
可使用附带软件在PC上显示测试数据
设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口

    

尘埃粒子计数器

    

3950-00

粒子测量

测试方法

光散射法

粒径通道

2粒径(0.10.3μm

额定流量

0.1CFM2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921ISO21501-4)

测量时间

6~9959秒(1次测量时间)

间隔时间

6~9959秒(测量周期)

采样次数

1~999次 或 连续测试

地点设定

99个地点

测量方式

重复、单次、连续、计算

测量数据显示时间

1~10

测量数据显示

累计值∑ 差分值△及柱形图

最大可测浓度

10,000,000/m³

计数效率

50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子)
100±10%(相对于最小可测粒径的1.5~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 ISO21501-4

  

<1/35min

粒径分辨率

15%以下(相对0.3μmPSL粒子)
(符合JIS B9921 ISO21501-4

    

内置泵

显示器

4.3英寸彩色液晶 触摸屏

通迅功能

    

USBHost用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接)
EthernetRS48596001920038400 baud

数据存储

    

内存

数量、格式

最大10,000个、CSV格式

显示语言

英文、日语

  

AC100~240V

使用环境

    

15~35℃、0~85%RH (无结露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

   

3.4kg

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